友达光电用氧化物TFT开发出英寸全高清贸易

台湾友达光电（AU OptronicsAUO）用基于透明非晶氧化物半导体（TAOS）的TFT（TAOS-TFT）试制出了全高清（1920×1080像素） 7英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板开发事例此前最大尺寸止步于20英寸以下，此次一举实现了大尺寸化。AUO预定在2010年5月于美国举办的“Society for Information Display 2010（SID 2010）”上展出试制品。

试制面板使用的TAOS-TFT，是将源电极和漏电极设在沟道侧面的同一平面（coplanar）型，沟道材料为非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）。AUO在演讲中出示的TAOS-TFT试制结果显示，以栅极宽度和长度分别为22μm和5μm的元件，实现了载流子迁移率10～1 cm2/Vs，开/关比108以上的良好特性。即便是经常碰到的TAOS-TFT元件特性不稳定问题，也通过在IGZO成膜后实施N2O等离子处理以及改善钝化方法等使其得到了控制。